佳能为FPD曝光机提供LED照明选配方案:照度提升四成,寿命延长至2万小时

佳能8月26日在东京宣布,将于9月上旬为旗下G8代玻璃基板FPD曝光机”MPAsp-H1003H”提供LED照明选配方案。这款曝光机2022年7月上市,新选配项是将原本的水银灯光源替换为LED,面向新装机设备开放,后续也会对已投产的现有设备提供改造服务。

替换的价值落在照度、寿命和能耗。据佳能公布的数据,LED方案比水银灯照度高出40%以上,直接缩短了单张基板的曝光节拍时间。光源单元从原来的3台集成为1台,寿命从水银灯的1000小时延长到20000小时——这意味着设备停机更换光源的频率大幅降低,对于追求连续运转的显示屏产线来说,这个改进比单纯的省电更直接。

能耗方面,照明单元本身的耗电量比原来减少了65%以上,放到整台曝光机里看,整体耗电量也能降低约10%。运行成本随之下降。

​还有一个容易被忽略的细节是水银废弃。每台曝光机换用LED后,一年减少的水银废弃量超过1.0kg。这个数字放在单台设备上不算大,但考虑到G8代基板主要用于电视面板生产,产线上的曝光机数量往往不是一台两台,累计效应就比较可观了。

佳能先用选配项覆盖新设备,再通过有偿改造服务覆盖存量市场。显示面板行业目前面临两重压力——既要提产线效率,又要降环境负荷,LED光源正好卡在这两条线的交叉点上。后续佳能还计划把LED选配推广到更多曝光机型号上,光源迭代这件事才刚刚开始。

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